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姓名: 伊福廷
部门: 多学科中心
邮箱: yift@ihep.ac.cn
电话: 010-88235983

  简  介

   1986年毕业于西安工业学院,光学仪器专业。1989年考入北京工业大学精密仪器专业攻读硕士,开展“同步辐射光刻束线物理性能评定的研究”。1995年攻读高能物理所在职博士,开展“同步辐射LIGA技术研究”工作,2000年获得理学博士学位。2001年获得了英国皇家学会王宽成奖学金,在英国帝国理工学院从事了一年的纳米岛光刻技术的研究工作。

   1986-1989年,在北京华北光学仪器厂从事光学加工工艺工作。1990-1992年,在高能物理研究所从事同步辐射X射线光刻束线的性能研究。自1992年起从事MEMS和基于X射线光刻的LIGA技术研究与应用,在高能所开创了LIGA技术、MEMS技术。2004年起开展了纳米岛光刻技术的研究和应用工作,开创了国内的纳米岛光刻技术研究与应用,完成了纳米岛光刻的工艺开发和在光电池等器件上的应用。

    

研究方向:微纳结构研制及性能研究、微金属结构的物理性能

目前研究领域和主要成绩

   自1992年开始从事同步辐射X光光刻工作,先后参加和完成了中科院的LIGA技术研究项目,国家攀登计划,863项目,自然基金仪器重大项目,科学院先导专项等。在纳米岛光刻技术研究中二次获得了国家自然科学基金的项目支持,开展了纳米岛光刻技术及太阳能电池上的应用研究。在这些领域有着丰富的研究经验和研究成果,完成了微型气体质谱仪电极结构、小型雾化器阵列孔结构、Gabor波带片、费涅尔波带片、正电子慢化器、微流路生物芯片、微过滤器、射线遮光膜等微器件,以及自行设计完成了微电机、微夹钳、纳米岛结构光电池等多种微结构产品,有些微结构器件已投入了实际的应用。代表文章如下:
   1 Jing Liu, Marina Ashmkhan, Futing Yi. Solar Energy ,0038-092X(2014)274–279.
   2 Y-X Liao and F-T Yi. Nanotechnology 21 (2010) 465302.
   3 Yi Futing, Ye Tianchun, Peng Liangqiang, etal. Chinese Physics, Vol 13, P:731-736 (2004)
   4  F. Yi, L. Peng, J. Fang, Y. Han. Microsystem technologies. Volume 7 (2001) 103-106